基本信息 | 更多 | 【中文】
六氟化钨 | 【英文名称】
Tungstenfluoride TUNGSTEN HEXAFLUORIDE TUNGSTEN(VI) FLUORIDE (oc-6-11)-tungstenfluoride(wf6 Hexafluorotungsten Tungsten fluoride (WF6) Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)- WF6 TUNGSTEN(VI) FLUORIDE CYL. WITH 450 G TUNGSTEN(VI) FLUORIDE, 99.9+% TUNGSTEN (VI) FLUORIDE (99.9+%-W) Tungsten hexafluoride 99% Tungstenhexafluoride99% (oc-6-11)-tungsten fluoride Wolfram(VI)hexafluoride | 【CAS】
7783-82-6 | 【中文名称】
六氟化钨 氟化钨 六氟化鎢 | 【EINECS 编号】
232-029-1 | 【分子式】
F6W | 【MDL 编号】
MFCD00040536 | 【分子量】
297.83 | 【MOL 文件】
7783-82-6.mol |
物理化学性质 | 回目录 | 【外观性质】
无色气体或浅黄色液体或固体,固体为易潮解的白色结晶, 接触潮湿空气冒烟。 | 【溶解性】
溶于多数有机溶剂。 | 【熔点 】
2.3 °C(lit.)
| 【沸点 】
17.5 °C(lit.)
| 【水溶解性 】
decomposes | 【Merck 】
13,9885 |
7783-82-6(安全特性,毒性,储运) | 回目录 | 【储运特性】
库房通风低温干燥 | 【可燃性危险特性】
遇水分解有毒氟化氢气体和钨酸 | 【类别】
压缩气体和液化气体 | 【灭火剂】
水 | 【职业标准】
TLV-TWA 5 毫克(钨)/立方米; STEL 10 毫克(钨)/立方米 |
常见问题列表 | 回目录 | 【理化性质】
化学式WF6。分子量297.84。无色气体或淡黄色液体。有强刺激性。有毒,其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟,生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性,但Ni和不锈钢可抗其腐蚀性。干燥状态时,对玻璃的腐蚀性较弱,而在湿气中则能迅速反应。与气态氨反应强烈。能被氨水或碱所吸收。与碱金属氟化物可成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。
【密度】 3.44×103kg/m3(15℃,液体)
【熔点】 2.5℃(5.6×104帕)
【沸点】 17.5℃
【临界温度】 171℃
【临界压力】 445.8kPa
【制备方法】 由金属钨粉与元素氟直接反应合成。
【主要用途】 (1)一种强氟化剂,用于气相沉积法制钨膜。(2)在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨,以制作低电阻、 高熔点的互连线。
图1为六氟化钨分子结构式。 | 【危险特性】
遇潮湿、空气或水会分解,放出剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。对皮肤、眼睛、粘膜能引起极严重的灼伤。高浓度暴露会引起恶心、呕吐、腹痛、抽搐、肾损伤。本信息由Chemicalbook晓楠编辑(2015-09-05)。 | 【贮运须知】
装于特殊钢瓶内,贮于阴凉、通风的库房内。避免日光直射。远离热源和火源。防止受潮。与金属、玻璃制品隔离贮运。须贴“毒气”标志。航空、铁路禁止运输。周围其他可燃物着火时,可用干粉、二氧化碳灭火。可用水冷却钢瓶,迅速关闭阀门。 | 【急救措施】
眼睛受刺激可致盲,须不断用水冲洗,迅送医院诊治。 皮肤和粘膜受腐蚀后很难痊愈,须用水冲洗,再涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水,并就医诊治。 |
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